Cum funcționează pulverizarea cu magnetron?
Pulverizarea cu magnetron este o metodă de depunere fizică în vapori (PVD), o clasă de procese de depunere în vid pentru producerea de filme subțiri și acoperiri.
Denumirea „pulverizare cu magnetron” apare din utilizarea câmpurilor magnetice pentru a controla comportamentul particulelor ionice încărcate în procesul de depunere prin pulverizare cu magnetron.Procesul necesită o cameră cu vid înalt pentru a crea un mediu de presiune scăzută pentru pulverizare.Gazul care cuprinde plasma, de obicei gazul argon, intră mai întâi în cameră.
Se aplică o tensiune negativă mare între catod și anod pentru a iniția ionizarea gazului inert.Ionii de argon pozitivi din plasmă se ciocnesc cu materialul țintă încărcat negativ.Fiecare ciocnire a particulelor de înaltă energie poate determina ejectarea atomilor de pe suprafața țintă în mediul de vid și propulsarea pe suprafața substratului.
Un câmp magnetic puternic produce o densitate mare a plasmei prin limitarea electronilor în apropierea suprafeței țintei, crescând rata de depunere și prevenind deteriorarea substratului din cauza bombardamentelor ionice.Majoritatea materialelor pot acționa ca o țintă pentru procesul de pulverizare, deoarece sistemul de pulverizare cu magnetron nu necesită topirea sau evaporarea materialului sursă.
Parametrii produsului
Numele produselor | Țintă de titan pur |
Nota | Gr1 |
Puritate | Mai mult 99,7% |
Densitate | 4,5 g/cm3 |
MOQ | 5 bucăți |
Mărimea vânzării fierbinți | Φ95*40mm Φ98*45mm Φ100*40mm Φ128*45mm |
Aplicație | Acoperire pentru mașină PVD |
Dimensiunea stocului | Φ98*45mm Φ100*40mm |
Alte ținte disponibile | Molibden (Mo) Chrome(Cr) TiAl Cupru (Cu) zirconiu (Zr) |
Aplicație
■Acoperirea circuitelor integrate.
■Afișaje de suprafață pentru panouri plate și alte componente.
■Decorare și acoperire din sticlă etc.
Ce produse putem produce
■Țintă plată de titan de înaltă puritate (99,9%, 99,95%, 99,99%)
■Racord filetat standard pentru instalare ușoară (M90, M80)
■Producție independentă, preț accesibil (calitatea controlabilă)
Informații de comandă
Întrebările și comenzile trebuie să includă următoarele informații:
■ Diametru, înălțime (cum ar fi Φ100*40mm).
■ Dimensiunea firului (cum ar fi M90*2mm).
■ Cantitate.
■ Cererea de puritate.