Țintă rotativă metalică
Câmpuri magnetice și electrice ortogonale sunt aplicate între ținta de pulverizare (catod) și anod.Și umpleți gazul inert necesar (de obicei, gazul Ar) în camera de vid înalt.Sub acțiunea unui câmp electric, gazul Ar este ionizat în ioni pozitivi și electroni.O anumită tensiune negativă înaltă este aplicată țintei, electronii emiși de țintă sunt afectați de câmpul magnetic, probabilitatea de ionizare a gazului de lucru crește, se formează o plasmă de înaltă densitate în apropierea catodului, iar ionii de Ar sunt afectați de forţa Lorentz.Apoi accelerați pentru a zbura la suprafața țintă și bombardați suprafața țintă cu viteză mare, astfel încât atomii pulverizați pe țintă să urmeze principiul conversiei impulsului, să zboare de la suprafața țintă la substrat și să depună un film de energie cinetică mare.
Pentru a îmbunătăți și mai mult rata de utilizare a materialului țintă, este proiectat un catod rotativ cu o eficiență de utilizare mai mare și un material țintă tubular este utilizat pentru acoperirea prin pulverizare.Îmbunătățirea echipamentului de sputtering necesită schimbarea țintei de la o formă plată la o formă tubulară, iar rata de utilizare a țintei tubulare rotative poate fi de până la 70%, ceea ce rezolvă în mare măsură problema utilizării scăzute a țintei plate.
Numele produselor | Țintă rotativă metalică |
Material | W, Mo, Ta, Ni, Ti, Zr, Cr, TiAl |
Mărimea vânzării fierbinți | ID-133/ OD-157x 3191mm ID-133/OD-157 X 3855mm ID-160/OD-180x1800mm De asemenea, poate fi procesat în funcție de cerințele specifice ale clienților |
MOQ | 3 piese |
Pachet | Carcasă din lemn cu straturi |
Aplicație
Acoperirea prin pulverizare este un nou tip de metodă de acoperire fizică cu vapori.În comparație cu metoda de acoperire prin evaporare, are avantaje evidente
în multe aspecte.Țintele de pulverizare metalică au fost folosite în multe domenii.Aplicația principală a țintei rotative.
■Celule solare
■Sticla arhitecturala
■Sticla auto
■Semiconductor
■TV cu ecran plat etc
Informații de comandă
Întrebările și comenzile trebuie să includă următoarele informații:
☑Specificația țintei ID×OD×L (mm).
☑Cantitate necesara.
☑Vă rugăm să ne contactați pentru mai multe nevoi speciale.